レーザ薄膜エッチングシステム
小ロット生産用レーザ薄膜エッチングシステム
- 小ロット生産・研究開発向けの太陽電池パネルのa-Si、ディスプレイの金属薄膜・透明伝導電膜などのパターニングに最適
- レーザと専用光学系により、数～数10μmオーダーの微細加工が可能
- レーザと高分解能・高精度ステージの同期により、ステージ加減速の影響がない精密かつ均一なパターニング加工を実現
- Windows GUIを用いた判り易い操作性
- 照射顕微鏡ユニットを装備し、ワークアライメントおよび加工観察が可能
- XYZθ4軸自動ステージとオートフォーカスユニットを装備し、画像処理ソフトにより自動アラインメントが可能
大面積生産用レーザ薄膜エッチングシステム
- 大面積太陽電池パネルのa-Siや透明導電膜のパターニングに最適
- レーザ分岐光学系による複数列一括パターニングで高スループットを実現
- レーザと高精密ステージの同期により、ステージ加減速の影響がない精密かつ均一なパターン加工を実現
- ワーク走査軸にリニアモータ駆動ステージを採用し、低発塵、低振動、低騒音、且つ高いメンテナンス性
- Windows GUIを用いた判り易い操作性
- 観察用顕微鏡を装備し、加工後観察が可能
- アライメント用カメラと画像処理ソフトを装備し、エッジアライメントによる高精度位置決めが可能
