レーザを用いた活性化アニール、オーミック化アニール、薄膜エッチング、ノズル加工、ビア加工、ケーブル加工、コネクタ溶接等のレーザプロセス装置メーカ【フェトン】

1. 超微細孔加工
   15～50μｍ径の超微細穴を加工
2. 多数穴超高速加工（高スループット）
   最大100ｍｍ□内最大約100万個を30～500secで加工（最速0.1ms以下／穴）
3. 高精度加工
   穴位置精度<±0.5μm、穴径精度<±0.5μm
4. 長期安定・調整容易(少ダウンタイム)
   
   • レーザプロファイルの変動による影響を受けない。
   • シンプルな光学系により、調整が容易

1. 超微細加工

   紫外線レーザにより、熱影響のない樹脂加工が可能。

レーザの波長と光子エネルギー

レーザの種類	波長 (nm)	光子エネルギー (kcal/mol)
CO2	10,600	2.7
YAG	1,064	27
SHG-YAG	532	54
THG-YAG	355	81
KrF エキシマレーザ	248	114

樹脂材料の結合解離エネルギー

結合の種類	解離エネルギー (kcal/mol)
C－C	80
C－H	98
C＝C	145
C≡C	198

CO₂レーザなどは、長波長のため限界の集光径が大きく、熱加工でコゲ・溶けが生じるため、加工径は50μm径が限界。

紫外線レーザは高光子エネルギーにより、直接C－C結合を切断する。

2. 多数穴超高速加工（高スループット）

   大出力紫外線レーザのエキシマレーザとマイクロレンズの多数配列により、多数穴一括加工が可能。

   マイクロレンズ上をビームスキャンすることにより、最大100ｍｍ□領域の最大約100万穴を、30～500secで加工。（最速0.1ms以下／穴）

3. 高精度加工

   高精度マイクロレンズアレイにより、穴位置精度<±0.5μｍ
   ビーム揺動システムにより、高穴径精度<±0.5μｍ

   光学系によらない、ビームプロファイル均一化。高精度加工が可能。

4. 長期安定・調整容易（少ダウンタイム）

   シンプルな光学系により、従来技術より光学調整が容易。

   ビーム揺動システムにより、エキシマレーザのビーム品質変化の影響を受けず、長期間安定した加工が可能。

ガスライフによるビームプロファイルの違い

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  ガスライフ初期
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  ガスライフ末期
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