![[image]レーザアニーラ](img/products/img_semiconductor_1.png)
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レーザアニーラ
半導体不純物活性化から
オーミックコンタクトの形成までIGBT、パワー半導体素子用レーザアニーラ
- レーザを利用し、厚さ100μm以下のウェハ片側のみ熱処理可能
- 2波長レーザアニールにより、深さ方向の温度分布を抑制可能
SiC裏面電極金属層オーミック化専用装置
- レーザを利用し、SiC裏面電極金属層オーミックコンタクトを形成
- 高い安定性・再現性・スループット、低ランニングコストで量産を支援
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FPD・太陽電池パネル、樹脂フィルム等のパターニング
【レーザエッチャ】
- 高精度ステージ、レーザ発振連動制御による均一なパターン加工
- マスク不要で自由なパターン形成が可能
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インクジェットプリンタヘッドのノズル、実装基板のビアホールなどの超高速微細穿孔
【マイクロマルチレーザドリラ】
- 15～50μmの超微細孔を、高精度かつ超高速に加工
- 長期安定性に優れ、シンプルな光学系は調整も容易。
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極細同軸線の端末加工から
コネクタ接続まで
FFC、狭ピッチコネクタ対応【レーザジャケットカッタ】
- ジャケット・インシュレーションカット
【レーザシールドカッタ】
- シールドカット
【レーザ融着装置】
- はんだレスマイクロ溶接