2007
| 日付 | 2007/12/11 |
|---|---|
| タイトル | レーザによる狭ピッチコネクタと極細同軸のハンダレス接続 |
| 講演者・著者 | 児玉康司 |
| 備考 | 第69回レーザ加工学会講演会 |
| 日付 | 2007/3/30 |
|---|---|
| タイトル | 最新レーザプロセシングの基礎と産業応用 |
| 講演者・著者 | 楡孝(6章幹事および執筆) |
| 備考 | 電気学会発行、発売所オーム社 |
2006
| 日付 | 2006 |
|---|---|
| タイトル | Effect of PulseDuration on Formation of Ultrashallow Junction by ExcimerLaser Annealing |
| 講演者・著者 | 松野明（他） |
| 備考 | JpnJ ApplPhys Part 1VOL.45;NO.11;PAGE.8537-8541(2006) |
| 日付 | 2006/4/24 |
|---|---|
| タイトル | MO Gate Deformation Induced by Laser Annealing Process |
| 講演者・著者 | A Matsuno, K Shibahara(Hiroshima Univ.) |
| 備考 | Proceeding of 2006 International Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications |
2005
| 日付 | 2005/11 |
|---|---|
| タイトル | マイクロレンズアレイによる超微細一括加工技術 |
| 講演者・著者 | 安藤聡、松野明、楡孝、吉本護(東工大) |
| 備考 | レーザー学会誌 Vol.12, No.2 |
| 日付 | 2005/10/21 |
|---|---|
| タイトル | 「超LSI極浅pn接合形成のためのレーザーアニール技術」 |
| 講演者・著者 | 松野 明 (他) |
| 備考 | レーザー学会 第340回研究会報告 p. 23 |
| 日付 | 2005/10/14 |
|---|---|
| タイトル | 全固体グリーンレーザアニールによる極浅接合形成時のフェイズスイッチ層の動作解析 |
| 講演者・著者 | 松野 明 (他) |
| 備考 | 電気学会合同調査専門委員会 |
| 日付 | 2005/9/15 |
|---|---|
| タイトル | Effects of Phase Switch Layer for Ultra Shallow Junction Formation by Green Laser Annealing |
| 講演者・著者 | 松野 明 (他) |
| 備考 | Extended Abstructs of the 2005 International Conference on Solid State Deveices and Materials p. 914 |
| 日付 | 2005/9/10 |
|---|---|
| タイトル | 「1次元熱伝導モデルによるレーザアニール極浅接合形成時のphase switch層の動作解析」 |
| 講演者・著者 | 松野 明 |
| 備考 | 第66回応用物理学会学術講演会予稿集 p.725 |
| 日付 | 2005/7/15 |
|---|---|
| タイトル | 超LSI対応レーザー不純物活性化技術 |
| 講演者・著者 | 松野 明 (他) |
| 備考 | レーザー学会誌「レーザー研究」 |
| 日付 | 2005/4/1 |
|---|---|
| タイトル | 「1次元熱伝導モデルによるレーザアニール極浅接合形成における光吸収層の影響解析」 |
| 講演者・著者 | 松野 明 (他) |
| 備考 | 第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 p964 |
| 日付 | 2005/3 |
|---|---|
| タイトル | スピンアウト 一人からの創業 |
| 講演者・著者 | 楡 孝 |
| 備考 | レーザー学会誌「レーザー研究」 |
2002
| 日付 | 2002/11/14 |
|---|---|
| タイトル | Future of laser processing in semiconductor manufacturing |
| 講演者・著者 | T.Nire |
| 備考 | The Asian Symposium on Recent Trend in Application of Laser Ablation |
| 日付 | 2002/6/18 |
|---|---|
| タイトル | 「レーザアニールによる極浅接合の形成」 |
| 講演者・著者 | 楡 孝 |
| 備考 | 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究集会、in SEMI FORUM JAPAN 2002 |